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2024年6月26日 ——第六屆深圳國際半導體展覽會(huì )（簡(jiǎn)稱(chēng)SEMI-e）在深圳會(huì )展中心盛大啟幕。本屆展會(huì )的展出面積達60,000平方米，吸引了超過(guò)800家展商參展，預計將有逾60,000名行業(yè)專(zhuān)家與觀(guān)眾蒞臨現場(chǎng)，共同探索在人工智能、物聯(lián)網(wǎng)、5G通信、新能源汽車(chē)等領(lǐng)域中半導體技術(shù)的嶄新應用與未來(lái)趨勢。
昊志機電在6號館的6H18展位上，展示了一系列精心打造的產(chǎn)品：劃片機主軸、高精度磨外圓電主軸、氣浮超精密晶圓研磨電主軸、晶圓超精密檢測空氣靜壓轉臺以及伺服驅動(dòng)器和直驅電機等。旨在為客戶(hù)提供半導體等領(lǐng)域核心功能部件解決方案。
剛度與承載力優(yōu)于競品達14.3%
劃片機主軸系列
主軸采用創(chuàng )新型結構設計，剛度與承載力較市場(chǎng)同類(lèi)產(chǎn)品顯著(zhù)提升14.3%，能夠滿(mǎn)足硅晶圓、封裝基板、石英玻璃和陶瓷等材料的加工需求。
采用高精度接口設計，錐面跳動(dòng)≤0.5μm，刀座裝刀面的徑向跳動(dòng)和軸向竄動(dòng)均≤1μm，主軸連續加工時(shí)伸長(cháng)量波動(dòng)≤0.3μm，達到國際先進(jìn)水平，確保高加工精度和高良品率。
優(yōu)化主軸防水、防塵性能，電機防護等級IP67，采用優(yōu)質(zhì)碳刷材質(zhì)，連續工作長(cháng)達6525小時(shí)，增強耐用性，減少維護成本和停機時(shí)間，延長(cháng)設備壽命，提升投資回報率。
與專(zhuān)業(yè)變頻器廠(chǎng)家合作，為電主軸匹配最佳驅動(dòng)參數，溫升降低16.7%，整合資源后，我們能夠為客戶(hù)節約30%的采購成本，提供了具有高性?xún)r(jià)比的解決方案。
高精度、高剛性、超強密封 晶棒加工利器
高精度磨外圓電主軸
內、外砂輪座外圓與端面全跳動(dòng)≤5um，內砂輪座重復定位精度≤1um，主軸振動(dòng)≤0.5mm/s，加工出來(lái)尺寸公差控制在0.002mm以?xún)?，具有無(wú)與倫比的高精度的特性。
主軸配備兩個(gè)可控制伸縮的砂輪座，實(shí)現內、外砂輪工況切換。
外軸采用短跨距設計，配置大尺寸、大球徑軸承；內軸則采用大軸徑軸系設計，并配置多層軸承支撐；主軸配置額定功率17.6kW、額定扭矩48Nm、最高轉速4000rpm的永磁電機，使主軸具有高剛性、低振動(dòng)、高承載能力的特點(diǎn)。
前端密封設計采用迷宮密封、氣幕密封與骨架油封相結合的方式，確保在0.2MPa的氣封條件下，能完全阻止異物進(jìn)入主軸，主軸的防護等級達到IP65。
低振動(dòng)、高剛性、高承載 半導體超精加工
高精度晶圓倒角機主軸
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